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采用传统的固相烧结技术制备了Nb2O5掺杂ZnO陶瓷靶材,研究了不同烧结温度、Nb2O5掺杂量对NZO靶材的电学性能、相对密度、抗弯强度的影响。结果表明：当烧结温度1200℃,Nb2O5的掺杂量为0.4wt%时,其综合性能最佳,此时靶材电阻率为0.189Ω·cm,相对密度为99.46%,抗弯强度141.74 MPa。