应用于深亚微米DSOI器件的埋氧层的制备

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaotaowang33

【摘要】

：

利用低剂量、低能量的SIMOX(separation by implanted oxygen)图形化技术实现了深亚微米间隔埋氧层的制备．在二氧化硅掩膜尺寸为172nm的情况下，可以得到间隔为180nm的埋氧层．通

【作者】

：

陶凯董业民易万兵王曦邹世昌

【机构】

：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国上海宏力半导体制造有限公司,中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

DSOI SIMOX 埋氧层 DSOISIMOXBOX

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用低剂量、低能量的SIMOX(separation by implanted oxygen)图形化技术实现了深亚微米间隔埋氧层的制备．在二氧化硅掩膜尺寸为172nm的情况下，可以得到间隔为180nm的埋氧层．通过TEM(transmission electron microscope)察发现埋层形貌完整、界面陡峭、无硅岛及其他缺陷．该结果为DSOI（dain／source on insulator)器件向更小尺寸发展奠定了工艺基础．

其他文献

直拉硅单晶中的流动图形缺陷

用Secco腐蚀液对直径150mmp型(100)直拉硅单晶片进行择优腐蚀后，得到了流动图形缺陷(FPDs)，并通过原子力显微镜(AFM)对其微观结构进行观察，实验发现，在FPDs缺陷的尖端存在有几百

期刊

直拉硅单晶FPDS空洞原子力显微镜CzSiFPDsvoidAFM

美国SPARK教育理念下幼儿篮球特色课程设计研究

摘要：篮球运动技能的复杂性以及可操作性和多重的教育价值已经在实践中得到证实。在幼儿学前阶段进行推广和应用是势在必行的。本文结合Spark课程理念，制定以《3～6岁儿童学习与发展指南》为指导方针的幼儿篮球特色课程的教学计划，为幼儿体育发展提供帮助与思路。　　关键词：Spark教学理念;幼儿篮球;特色课程;幼儿体育　　一、前言　　幼儿球类活动不但可以增强幼儿的身体各个方面的素质包括力量，速度，耐力，柔

期刊

Spark教学理念幼儿篮球特色课程幼儿体育

考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器小信号宏模型

以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象，先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线，然后利用磁路定律，考虑了在宏观磁执行器中忽略的磁芯磁阻，建立了考虑力-磁耦合的非线性方程

期刊

多级曲折磁芯微梁执行器力-磁耦合宏模型悬壁梁magnetic microactuator with a multilevel meander force

磁场调制下的双电子量子点qubit

研究了磁场中二维有限深抛物形量子点中双电子在总自旋分别为S=0或S-1时的电子态，在有效质量近似下，利用精确的对角化方法计算了系统的能级结构．发现系统的基态总自旋S可以通过

期刊

量子点磁场能级量子比特PACC7320D4110D7125Jquantum dotmagnetic fieldenergy levelquant

以手性核为中心的枝臂液晶的合成与相行为

计与合成了3种以异山梨醇为手性核中心的枝臂液晶分子——双-10-（4-（4-（4-乙氧基）苯甲酰氧基）联苯）氧羰基癸酸异山梨醇酯（MA1）、双-4-[10-（4-（4-（4-乙氧基）苯甲酰氧基）联苯）氧羰基癸酰氧基]

期刊

手性胆甾相枝臂分子织构chirality cholesteric phase branched-arm texture

天亮出发

随着列车风驰电掣的挺进北京,北京的气息愈来愈浓,大都市广博的内涵和海量的包容让很多人把这里当作出发后到达的目标。这是一次又一次机会的投放,又是一场又一场的生活抉择

期刊

有开对我说完一平安出行昼行彼岸花人与自然雪月

黄昏到达

放下盛满美酒的酒杯,吻别让灵魂漂染的鲜花,默默地踏上奔赴另一场繁华的快车,一只脚踩着过去,另一只脚已经迈开步伐。天亮出发,黄昏到达,生活的脚步一刻也没有停止。列车穿行

期刊

河北平原明星大腕滥情多度

新时期我国体育经济产业发展面临的困境与解决对策分析

摘要：随着我国社会经济的不断提升，我国体育经济的综合实力也在不断提高，为我国体育经济的发展营造了良好的环境。但在新时期的背景下，我国体育经济产业发展也面临着许多困境和难题，所以我们必须对面临的困境进行分析，研究出相应的策略，做好有效的改革，使我国的体育经济产业得到进一步的发展。下面我们对我国体育经济的产业现状进行分析，并提出相应的策略。　　关键词：新时期;体育经济产业;发展;困境;解决对策　　一、

期刊

新时期体育经济产业发展困境解决对策

一种新型结构的InGaP／GaAs负阻异质结晶体管

利用硅双基区晶体管（DuBAT）产生负阻的原理，针对HBT器件结构和MBE材料结构的特点，设计并研制出一种基区刻断结构的负阻型HBT（NDRHBT）．经过特性和参数测试，证明此种NDRHBT具有显著的微

期刊

异质结双极晶体管双基区晶体管三端负阻器件逻辑功能器件HBT DUBAT three terminal NDR device logic function

经典记忆

打开记忆的风帆,很多人、很多事都会不由自主地浮现在眼前,有一段难以忘却的记忆慢慢地成为我生命的回放中经常演播的经典,让我一次又一次地吸吮着其中的能量,不断地滋养自己

期刊

市场总监这一天黄河之声协会名誉主席广告经营许可证中国楹联学会次回发行范围艺术创作李文义

应用于深亚微米DSOI器件的埋氧层的制备

与本文相关的学术论文