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针对电力行业六氟化硫气体回收处理的实际需求,基于废弃六氟化硫气体品质特征,通过对气体净化技术进行比较分析,本研究设计了基于精馏提纯的六氟化硫气体净化处理技术。采用5种废弃六氟化硫气体验证处理技术的处理效果,结果表明,废弃六氟化硫气体经该技术处理后,气体品质可达到工业用六氟化硫新气质量标准,适用于电力行业大规模六氟化硫气体回收处理实践。