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本文介绍了一种新的边缘定位方法－激光半焦斑边缘检出法。
激光半焦斑边缘检出技术研究
【摘 要】
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本文介绍了一种新的边缘定位方法－激光半焦斑边缘检出法。
【机 构】
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国防科技大学机械电子工程与仪器系
【出 处】
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国防科技大学学报
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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国防科研试验技术基金
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