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制作了一种纳米尖端场离子化气体传感器,以氧化锌纳米尖端为阳极,钨针为阴极,采用皮安表向传感器提供输出波形可控的直流电源,测量流过器件的预击穿电流。由于采用了纳米尖端进行离子化,有效地降低了传感器的击穿电压,提高了传感器的离子化能力,而且避免了氧化锌材料以空气作为背景测试气体时的氧化问题。动态测试预击穿电流的方法提高了器件的实用性。实验结果显示该传感器对乙酸蒸气有较好的响应,而且可以做定量测量。所制场离子化气体传感器适于普通空气条件下的使用,具有良好的应用前景。