【摘 要】
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为实现大口径光学元件波前功率谱密度（PSD）的高精度、低成本检测,提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的计算方法,提出了基于相关匹配的子孔径拼接算法,
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【基金项目】
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国家自然科学基金(61505186);国家科技重大专项基金(2013ZX04006011-102);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金(KF14007)
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为实现大口径光学元件波前功率谱密度（PSD）的高精度、低成本检测,提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的计算方法,提出了基于相关匹配的子孔径拼接算法,分析了拼接干涉检测的误差来源。对拼接检测算法进行了仿真验证,结果表明,拼接检测的波前畸变峰谷值(dpv)与PSD的均方根值(PRMS)的相对偏差分别为1.2%和0.1%。采用口径为620 mm×450 mm光学元件开展了5次拼接检测实验,比较了拼接检测与全口径直接检测结果,两者分布一致,dpv偏差不大于0.012λ（λ=632.8 nm）,PRMS偏差不大于0.03 nm,表明该算法稳定可靠,可实现大口径光学元件波前PSD的拼接检测。
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