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通过对玻璃磨边机改造成靶材磨边机后实际操作的分析,找出出现的主要问题。改造中出现的崩角、面裂纹及台阶等缺陷经过优化后,改造后可以对靶材进行公差正负0.1 mm以内的加工,并且能够进行大斜面加工。
玻璃磨边机改造成氧化铟锡靶材磨边机的研究
【摘 要】
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通过对玻璃磨边机改造成靶材磨边机后实际操作的分析,找出出现的主要问题。改造中出现的崩角、面裂纹及台阶等缺陷经过优化后,改造后可以对靶材进行公差正负0.1 mm以内的加工
【机 构】
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广西晶联光电材料有限责任公司
【出 处】
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装备制造技术
【发表日期】
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2020年4期
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