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光敏聚酰亚胺光刻胶及光刻工艺的研究白宗武，张秋红，黄小力，黄毓礼（北京化工大学高分子系，北京１０００２９）关键词聚酰亚胺，光刻胶，光刻工艺，亚胺化，耐热性聚酰亚胺（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ简称ＰＩ）树脂耐热性，电绝缘性能优良，在机电工业中有着广泛的应用。近...
光敏聚酰亚胺光刻胶及光刻工艺的研究
【摘 要】
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光敏聚酰亚胺光刻胶及光刻工艺的研究白宗武，张秋红，黄小力，黄毓礼（北京化工大学高分子系，北京１０００２９）关键词聚酰亚胺，光刻胶，光刻工艺，亚胺化，耐热性聚酰亚胺（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ简称ＰＩ）树脂耐热性，电绝缘性能优良，在
【机 构】
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北京化工大学高分子系,河北工学院
【出 处】
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感光科学与光化学
【发表日期】
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1995年4期
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