【摘 要】
：
采用直流磁控溅射技术，以氧化锌铝陶瓷靶为靶材，在玻璃衬底上制备掺铝氧化锌薄膜，研究不同工艺参数对薄膜组织结构、光学性质和电学性质的影响。从薄膜的结构、载流子浓度和迁移
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目（60571043）
论文部分内容阅读
采用直流磁控溅射技术，以氧化锌铝陶瓷靶为靶材，在玻璃衬底上制备掺铝氧化锌薄膜，研究不同工艺参数对薄膜组织结构、光学性质和电学性质的影响。从薄膜的结构、载流子浓度和迁移率等方面分析掺铝氧化锌薄膜的透射率和电阻率的变化机理。研究结果表明；掺铝氧化锌薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向，晶粒垂直于衬底方向柱状生长，衬底温度和氧分压对薄膜的电阻率和透射率具有很大影响。在衬底温度为200℃、氧气与氩气的分压比为1％时，薄膜具有最优电阻率和平均透射率，分别达到1．13×10^-3Ω·cm和86．
其他文献
改革开放以来,我国中小企业蓬勃发展,为国家经济发展做出了卓越的贡献。但是长期以来,中小企业融资困难一直是困扰企业发展壮大的一个瓶颈。文章通过分析中小企业融资困难的
现行的经管类研究生教育模式还不能完全适应培养应用型人才的要求,可以在教学中,有目的地引入PBL等新的培养模式以期提高经管类研究生分析和解决经济社会现实问题的能力。从P
1工程概况上海轨道交通12号线某车站主体围护结构采用地下连续墙结构,设计分幅长度5.0m-10.2m,墙厚800mm,共计82幅,其中有效深度34m墙24幅,有效深度31m墙58幅;车站标准段最深
随着我国经济社会的发展，区县政府采购的规模和范围不断扩大，在节约财政资金、优化资源配置、加快基础设施建设等方面发挥了重要作用。尽管区县政府采购工作有了很大的发展，但依
为监测低温雨雪后典型群落的生态恢复状况,基于CASA模型,构建光能利用率模型,估算植被净初级生产力(NPP)和植被覆盖度,对雪灾影响植被生态系统程度进行分级,统计各级受灾程度面积。结果显示,2008年的强降雪对莽山自然保护区的植被生态系统造成了深刻的影响,47.1%的受灾面积需要人工与自然修复并举。
混凝土现浇板出现裂缝是当前建筑工程中比较普遍现象。分析其原因有以下几个方面：一、由于设计方面引起浇钢筋混凝土板出现裂缝的主要原因1、结构计算失误，设计构件偏薄，配筋偏
本文解释了什么是数据包络分析（DEA）以及它的作用,并对国家煤炭市场进行了简单的概述,通过数据包络分析（DEA）方法对国家煤炭资源整合的效益和收益进行了分析与评价。
目的对核电厂运行瞬态识别进行有效识别。方法基于动态时间弯曲算法,计算运行瞬态中温度、压力和流速数据与设计瞬态中对应数据之间的相似程度,通过定义等效相似度反应温度、
采用对比实验考察在新型材料辊套和合金钢辊套下铸轧区磁感应强度的差异;根据电磁场理论,研究上述2种辊套材料对铸轧区磁场的衰减和屏蔽效应.研究结果表明:合金钢辊套的相对
阐述玉米粗缩病的症状，分析玉米粗缩病的发病因素，提出具体的防治措施，以期指导科学防治玉米粗缩病。