ZnO—SiO2—Si层状结构中叉指换能器的声体波激励研究

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当叉指换能器在基片上激励声表面波模式时,同时伴随有声体波的激励。文章根据已有的叉指换能器声体波激励理论,对层状结构ZnO-SiO2-Si中叉指换能器的声体波激励进行了研究,通过计算表面有效介电常数εef(s)的虚部,得到了声体波的激励强度与层状结构参数之间的定量关系。文中所采用的分析方法,适用于其他层状结构中叉指换能器的声体波激励研究
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