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本文采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜.文章详细论述了溅射金属铜膜的工艺参数,并就这些参数对所镀膜层表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法.
在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
【摘 要】
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本文采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜.文章详细论述了溅射金属铜膜的工艺参数,并就这些参数对所镀膜层表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出
【机 构】
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中国电子科技集团公司第38研究所
【出 处】
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科技资讯
【发表日期】
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2007年22期
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