【摘 要】
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为解决高精密液体静压电主轴回转误差难以精密测量与分离的问题,提出了一种主轴回转精度测量与分析的新方法.以液体静压电主轴为测量对象,设计一套以电容微位移传感器为基础,
【基金项目】
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国家自然科学基金（50775043）,粤港关键领域重点突破项目（TC08BE33-2）
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为解决高精密液体静压电主轴回转误差难以精密测量与分离的问题,提出了一种主轴回转精度测量与分析的新方法.以液体静压电主轴为测量对象,设计一套以电容微位移传感器为基础,以VC＋＋和Matlab为软件平台的主轴回转误差测量系统,采用自为基准原理,以机床精车后的工件代替传统的检验棒进行直接测量,利用频域三点误差分离法,对主轴回转误差和圆度误差进行测量与分析.实验表明该系统能对高精密主轴回转误差进行测量,在转速（0～600）r/min范围内,该主轴的回转误差为0.28μm.
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