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本文利用化学气相相宙积方法，通过含碳气体的直流辉光放电分解过程，在球冠形金属高频振膜的两上表面上同时沉积出一定厚度的类金刚石碳膜，形成金属－类金刚石复俣高频振膜。该振膜整体刚性高，没有应力变形，明显地提高了扬声器的灵敏度和高频响应性能。
新型高频复合振膜的研制
【摘 要】
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本文利用化学气相相宙积方法，通过含碳气体的直流辉光放电分解过程，在球冠形金属高频振膜的两上表面上同时沉积出一定厚度的类金刚石碳膜，形成金属－类金刚石复俣高频振膜。该振膜
【机 构】
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中国建筑材料科学研究院玻璃所
【出 处】
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电声技术
【发表日期】
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1997年2期
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