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<正> 一、微波MEMS的市场需求 本千年的最后一年可能会作为新一代微尺度技术从非常规应用最终变成商业主流的一年而被人们记住。该技术MEMS(微机电系统)在2000年获得了快速发展。在通信、生物技术、汽车和其它许多工业部门的设计工程师正在扩大MEMS器件的使用以解决常规的微尺度或宏尺度技术所不可能解决的问题。