一种新型结构的静电感应晶体管

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yindanna
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提出了一种新型结构的静电感应器件,设计了一道环绕的深槽,用以切断寄生效应静电感应器件的寄生效应会导致器件性能的劣化甚至失效,文中提出了寄生效应的模型,并用PSPICE进行二了,仿真模拟,数值模拟结果和实验结果一致,实验表明这种深槽结构能够有效截断寄生路径,消除寄生电流的影响,优化器件性能,同时,文章详细描述了这种器件的设计和制造工艺。
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