【摘 要】
：
简要介绍了MEMS的发展状况及CMOS工艺在MEMS中的地位.主要介绍了pre-CMOS, intermediate-CMOS和post-CMOS三种不同的CMOS MEMS工艺.详细讨论了CMOS MEMS今后将面临的挑战及其
论文部分内容阅读
简要介绍了MEMS的发展状况及CMOS工艺在MEMS中的地位.主要介绍了pre-CMOS, intermediate-CMOS和post-CMOS三种不同的CMOS MEMS工艺.详细讨论了CMOS MEMS今后将面临的挑战及其未来应用领域,最后,根据国内情况对我国CMOS MEMS的发展提出了建议.
其他文献
“孤单的人那么多,快乐的没有几个,不要爱过了错过了留下了单身的我,独自唱情歌。”林志炫的一首《单身情歌》唱出了渴望爱情却不可得的心情,但同时也唱出了孤独寂寞却积极阳
GAP即良好农业规范，是以危害预防（HACCP）、良好卫生规范、可持续发展农业和持续改良农场体系为基础，通过经济的、环境的和社会的可持续发展措施，来保障食品安全和食品质量。避免在
高校思想政治教育要引领大学生通过研完与吸纳儒学精华，承载历史的厚重，传承中华文明，从而务实社会主义核心价值观的认同与坚守。树立并自觉践行社会主义核心价值现。
本文通过阐述巡视与内审监督工作内涵，着重对巡视监督与内审监督过程中从运用效果、工作程序、服务机制、范围、方式等进行了对比分析，并针对巡视监督优势，全面提高巡察工作效率
在我国经济快速发展的过程中，科技水平也得到了一定程度的提高，在新媒体的发展上也取得了一定的进步。在当今新媒体的广泛应用下，其对大学生进行就业指导方面也起着很大的作用，这
现阶段 ,有更多的地图通过因特网来进行传播 ,而不仅是印制在纸介质上。 2 0世纪 6 0年代后期出现了因特网 ,通过因特网使用地图的数量在 2 0世纪 90年代的后 5年有了戏剧性
近据报载,上海古籍出版社决定以我国台湾省商务印书馆影印的文渊阁《四库全书》为底本,再次影印这部传世古籍中卷帙最为浩繁的鸿篇巨制,并将此举自诩为出版事业的一大盛事而
随着输电线路电压等级的提高，输电线路周围空间的电磁场强度越来越大，因此对它的空间电磁场分布研究变得越来越重要。针对输电线路上部空间电场强度值实际测试的难点，提出了一种
新课程理念背景下，初中语文教材相当注重学科知识的渗透和整合，注重科学素养和人文素养的统一，让学生在实践中感悟，在感悟中内化。语文新课标在“总目标”中强调：“在发展语言能力
在智能交通系统中,车辆的自动循迹,定位追踪是其关键技术,如何建立车辆跟踪系统一直受到研究者的重视,文中通过建立一款具有自主运行功能的智能小车,采用电感线圈作为循迹传