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硅传感器使机械传感器相形见绌在大批量汽车市场的强劲需求推动下，传感器已从昨天的笨重机械结构发展成用传统半导体加工技术制作的集成智能器件。由于这种器件能确保安全面可靠的运作，因而基于硅的传感器不仅广泛应用于汽车领域而且也用于实验室和医疗仪器、过程控制系...
硅传感器使机械传感器相形见绌
【摘 要】
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硅传感器使机械传感器相形见绌在大批量汽车市场的强劲需求推动下，传感器已从昨天的笨重机械结构发展成用传统半导体加工技术制作的集成智能器件。由于这种器件能确保安全面可
【出 处】
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电子产品世界
【发表日期】
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1996年6期
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