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用热丝辅助化学气相沉积法合成了未掺杂及Ｂ掺杂金刚石薄膜，测量了退火前后的电流－电压和光电导特性。实验结果表明，Ｈ原子对未掺杂金刚石膜的电学和光电导特性有很大影响。对于掺杂样品，随着Ｂ含量的增高，Ｂ的作用更加明显，而Ｈ的作用降低。合成的金刚石膜中存在着各种缺陷态，其中包含陷阱型缺陷态，它影响着光电导饱和值的大小和弛豫时间的长短。经６００℃退火后，样品的结构、缺陷态的种类、数量都发生变化，并改变了金刚