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结合自组装技术在羟基化处理的Si表面成功制备了稀土Y薄膜。利用SEM,AFM,XPS对其结构和形貌进行表征,在UMT-2摩擦磨损试验机上考察了稀土Y薄膜的摩擦磨损性能,并探讨了该薄膜的摩擦润滑机制。结果表明,利用该方法制备的稀土薄膜致密、均匀,由排布紧凑的小颗粒组成,具有良好的减摩耐磨特性。