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近年来光通信飞速发展，波分复用技术(WDM)是满足要求的有效手段.密集波分复用技术已经得到成功商用，其扩展信息传输容量的能力也在不断增强.作为波分复用中最关键的器件，蚀刻衍射光栅(EDG)是平面波导密集波分复用器件中很有发展潜力的一种.本文分析了EDG器件的解复用原理，参量设计，工艺过程.文章最后，建立了一个光栅干涉的简单模型，对设计好的器件参量进行模场形状、谱响应、色散等光栅性能的模拟，得到基本的器件解复用特性，并加以分析.