【摘 要】
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在基于平行平板双光路横向剪切干涉仪中,如果两个方向的平行平板之间存在角度误差,将会使得两个方向的剪切干涉图的剪切方向不正交,最终影响波前测量的准确度.本文通过仿真实
【机 构】
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南开大学现代光学研究所,天津300350
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在基于平行平板双光路横向剪切干涉仪中,如果两个方向的平行平板之间存在角度误差,将会使得两个方向的剪切干涉图的剪切方向不正交,最终影响波前测量的准确度.本文通过仿真实验研究了两个方向平行平板之间不同大小的角度误差对波前重建精度的影响,分析了不同条件下Zernike多项式系数拟合精度、重建波前均方根(RMS)及均方根误差(RMSE)与角度误差之间的关系以及角度误差一定时,重建波前RMS及RMSE与剪切量之间的关系.研究结果表明,为了提高波前重建精度,要尽量降低两个平行平板之间的角度误差,使用更多项Zernike多项式来拟合波前,并且保证剪切量与波面尺寸比值大于10％.本文的结论对于平行平板横向剪切干涉仪的装调将会起到一定的指导作用.
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