【摘 要】
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为了使SS-550型扫描电镜处于较好的工作状态,在分析了扫描电镜成像过程中影响成像质量因素的基础上,对仪器参数的设置进行了研究.结果表明:加速电压V、Z轴值、探针大小Probe
【机 构】
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北京印刷学院,印刷包装材料与技术实验室,北京,102600
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为了使SS-550型扫描电镜处于较好的工作状态,在分析了扫描电镜成像过程中影响成像质量因素的基础上,对仪器参数的设置进行了研究.结果表明:加速电压V、Z轴值、探针大小Probe Size、放大倍数M的设定对图像质量有较大影响.加速电压越大,图像的分辨率越高;随着Z轴值的增加,图像质量增加;探针值越小,图像越清晰.只有匹配好各个仪器参数,才能获得清晰的图像,正确反映样品的微观形貌和微观结构.
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