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通过射频溅射的方法在单晶硅衬底上沉积了β-SiC薄膜，用HF酸(40％)和C2H5OH(99％)的混合溶液对β-SiC薄膜进行了电化学腐蚀处理，形成了多孔β-SiC(PSC)薄膜．利用荧光分光光度计研究了样品的光致发光(PL)特性，用原子力显微镜(AFlM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了样品腐蚀前后的表面形貌．结果表明：多孔β-SiC薄膜具有较强的蓝光发射特性；通过改变腐蚀时间，可以改变蓝光发射的强度，也可以观察到蓝光一红光同时发射的现象；降低HF酸的浓度，蓝光发射峰明显变弱，并对多孔β-SiC薄膜的发