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以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法（Hot filaments chemical vapor deposition,HFCVD）,在WC-3%Co条状平板上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、激光拉曼光谱（Raman）和洛氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能,研究热丝辐射距离和反应气体中甲烷的体积分数对金刚石薄膜的影响。结果表明：热丝辐射距离和甲烷体积分数增加会使薄膜中金刚石相（sp3杂化）减少,且热丝辐射距离和甲烷体积分数显著影响薄膜中sp2杂化碳相的种