【摘 要】
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通过SPP（表面等离子体激元）的优越特性分析了楔形波导SPP的透射特性,设计了嵌有光栅的楔形等离子体波导结构。对SPP激发的分析采用衍射光栅耦合的方式,通过改变金属薄膜厚度以
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通过SPP（表面等离子体激元）的优越特性分析了楔形波导SPP的透射特性,设计了嵌有光栅的楔形等离子体波导结构。对SPP激发的分析采用衍射光栅耦合的方式,通过改变金属薄膜厚度以及入射光角度得出其结构特性。结果表明：金属薄膜厚度的减少会导致透射带宽迅速降低,透射率也随之下降;而入射光角度的改变会导致透射光效率的变化。模拟了楔形波导结构的表面等离子体,得到了薄膜厚度的变化透射曲线和入射光角度透射率,得出了透射率变化图。研究结果对半导体设备的纳米等离子激元耦合具有一定的意义。
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