【摘 要】
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本文对所研究的直流磁控溅射法制备的ITO透明导电薄膜,采用X射线衍射技术进行了膜层晶体结构与薄膜厚度关系的分析,并测量了薄膜电阻率及透光率随薄膜厚度的变化情况。实验结
【机 构】
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郑州大学材料科学与工程学院,河南教育学院化学系 河南郑州450052,河南郑州450014
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本文对所研究的直流磁控溅射法制备的ITO透明导电薄膜,采用X射线衍射技术进行了膜层晶体结构与薄膜厚度关系的分析,并测量了薄膜电阻率及透光率随薄膜厚度的变化情况。实验结果表明,当控制薄膜厚度达70nm以上时,可获得结晶性好、电阻率低和透光率高的ITO透明导电薄膜,所镀制的ITO膜电阻率已降到1.8×10-4Ωcm,可见光透过率达80%以上。最后还对所镀制的ITO透明导电薄膜的质量指标作了评估。
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