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采用干法回收技术对多晶硅生产线的吸附塔反吹出的氢气进行处理,实现了氢气及氯硅烷的回收利用,达到节能降耗、保护环境的目的.
多晶硅生产系统尾气的回收
【摘 要】
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采用干法回收技术对多晶硅生产线的吸附塔反吹出的氢气进行处理,实现了氢气及氯硅烷的回收利用,达到节能降耗、保护环境的目的.
【机 构】
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成都巨涛油气工程有限公司
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2015年3期
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