SiC空间反射镜材料及其表面改性技术现状分析

来源 :中国光学与应用光学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sam8899138

【摘要】

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SiC材料具有良好的物理特性和机械特性，是制备大口径空间反射镜的主要候选材料之一，而SiC反射镜的制备、加工及其表面改性技术是推动高水平空间光学系统应用的重要条件。本文从

【作者】

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高劲松申振峰王笑夷王彤彤陈红郑宣鸣

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室

【出处】

：

中国光学与应用光学

【发表日期】

：

2009年2期

【关键词】

：

SIC SiC反射镜表面改性 SiC SiC mirror surface modification

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SiC材料具有良好的物理特性和机械特性，是制备大口径空间反射镜的主要候选材料之一，而SiC反射镜的制备、加工及其表面改性技术是推动高水平空间光学系统应用的重要条件。本文从实际工程应用的角度出发，分析了几种常用SiC基底反射镜材料的特性，介绍了4种SiC的制备工艺。研究了目前国内外SiC基底反射镜的应用现状及其表面改性情况，对改性层的性能指标、制备工艺和发展趋势进行了深入讨论。针对目前国内反射镜材料应用现状，认为加快高性能SiC基底材料研发工作步伐，并找到一种利用现有大口径PVD设备低温制备优质SiC改性层

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