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采用射频磁控溅射和离子束溅射联合设备在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的AZO／Cu／AZO多层薄膜。研究了衬底温度对薄膜的结构和光电特性影响。X射线衍射谱表明AZO／Cu／AZO多层薄膜是多晶膜，AZO层具有六角纤锌矿结构，最佳取向为（002）方向，Cu层具有立方结构。当三层薄膜制备过程中，衬底始终加热，衬底温度为100℃时，制备的薄膜具有最高的品质因子2．26×10^-2Ω^-1，其方块电阻为11Ω·□^-1，在波长500～800nm范围内平均透过率达到了87％