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以激光干涉法得到的光刻胶图案为掩模，采用湿法刻蚀和溶脱一剥离法制备了具有良好减反射特性的亚微米掺铝氧化锌（ZnO：Al，AZO）光栅。表面形貌特征和反射光谱测试结果表明，湿法刻蚀较溶脱-剥离法得到的AZO光栅表面更为粗糙，两者均方根粗糙度分别为25．4，7．6nm。在400～900nm波段，两种方法制备的周期和高度相同的光栅，平均总反射率分别由AZO薄膜的12．5％下降到8．3％和10．2％。两者的平均镜面反射率分别为6．2％和6．6％，平均漫反射率分别为2．1％和3．6％。湿法刻蚀得到的表面较为粗糙AZ