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在微波技术研究中,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数.微波功率测量已成为电磁测量的重要部分,可应用于很多场合,如发射机输出功率(包括天线系统辐射的功率)和振荡器输出功率的测量、毫瓦计的校准、标准信号发生器的校准等.微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件.微梁结构热偶微波功率传感器芯片选择具有低电阻温度系数的Ta2N和高热电功率塞贝克系数的Si作为热偶材料,利用半导体工艺和MEMS工艺制作,并最终研制成合格的芯片.芯片具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、频带宽等特点.简要介绍了芯片的结构原理,并详细介绍