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本文介绍了我们最近开发的真空微电子平板数码管工艺，主要包括阳极支柱的制作和平板透明真空封装。
真空微电子平板显示器工艺研究
【摘 要】
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本文介绍了我们最近开发的真空微电子平板数码管工艺，主要包括阳极支柱的制作和平板透明真空封装。
【机 构】
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西安交通大学真空微电子研究所,香港科技大学,电子部４４００厂
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1996年11期
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