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Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的疲劳影响因素研究进展
Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的疲劳影响因素研究进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yl2590
【摘 要】
:
简述了PZT铁电薄膜在制备和应用当中遇到的问题。围绕提高薄膜的疲劳性能,介绍了PZT铁电薄膜近年来在热处理、底电极、过渡层和掺杂等方面的研究进展,并分析了它们对材料电性
【作 者】
:
张兴国
刘军
陈春
胡道甫
【机 构】
:
江苏大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2004年10期
【关键词】
:
PZT
铁电性
溶胶-凝胶
掺杂
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简述了PZT铁电薄膜在制备和应用当中遇到的问题。围绕提高薄膜的疲劳性能,介绍了PZT铁电薄膜近年来在热处理、底电极、过渡层和掺杂等方面的研究进展,并分析了它们对材料电性能和疲劳性能的影响。最后提出了展望。
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