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针对GCr15轴承钢内圆传统磨削加工方式存在的精度低、烧伤及裂纹等缺陷,文章采用ELID精密镜面磨削技术对其进行工艺试验研究。在ELID精密镜面磨削机理及钝化膜数学模型的理论指导下,进行正交试验探究磨削深度、砂轮线速度、电解电压及占空比对表面粗糙度的影响及其最优参数组合,并采用极差法分析探究各因素对工件磨削质量影响程度的大小。研究结果表明在磨削深度0.5μm,砂轮线速度30m/s,电解电压50V,占空比50%的最佳工艺参数下可获得表面粗糙度为13nm的已加工表面。