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对第三代半导体GaN材料体系的拉曼光谱测试进行了综述,并展望了其在第三代半导体无损检测领域的应用前景。
拉曼光谱在第三代半导体材料测试领域的应用
【摘 要】
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对第三代半导体GaN材料体系的拉曼光谱测试进行了综述,并展望了其在第三代半导体无损检测领域的应用前景。
【机 构】
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中电科电子装备集团有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2018年04期
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