【摘 要】
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摩托罗拉公司半导体研究中心开发了晶体管长为 0 15 μｍ、采用良好结点及铜布线技术的高性能ＣＭＯＳＳＲＡＭ工艺。由于采用铜替代原来铝布线 ,所以 ,可大幅度改善处理速度、可靠性、制作成
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摩托罗拉公司半导体研究中心开发了晶体管长为 0 15 μｍ、采用良好结点及铜布线技术的高性能ＣＭＯＳＳＲＡＭ工艺。由于采用铜替代原来铝布线 ,所以 ,可大幅度改善处理速度、可靠性、制作成本等。目前 ,本公司已采用此工艺成功地制作出 4Ｍ位ＳＲＡＭ制品 ,并采用铜布线制作
The Motorola Semiconductor Research Center has developed a high-performance CMOS SRAM process with a 0 15 μm transistor length and good junction and copper routing. As the use of copper instead of the original aluminum wiring, so can greatly improve the processing speed, reliability, production costs. At present, the company has successfully used this technology to produce 4M SRAM products, and the use of copper wiring production
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