Studies on SiO_2 Used for Antireflective and Protective Film

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xxxhht
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The protective AR(anti-reflection) film of infrared wavelength is an important optical film used in army field.The design and preparation of SiO2 film used for protection and avoiding-reflection in IR wavelength are discussed in this article.In order to resolve the problem of water absorbing in 2900nm,we prepared the film by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD) and annealed it after preparation.At last,we get a good SiO2 film deposited on big spherical surface,which has very good optical and mechanical character. The protective AR (anti-reflection) film of infrared wavelength is an important optical film used in army field. The design and preparation of SiO2 film used for protection and avoiding-reflection in IR wavelength are discussed in this article. Order to resolve the problem of water absorbing in 2900 nm, we prepared the film by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD) and annealed it after preparation. At last, we get a good SiO2 film deposited on big spherical surface, which has very good optical and mechanical character.
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