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本文分析了以往数值ＣＶ方法不收敛的原因及改进方法，提出了一种新的逐点反求多次循环的数值ＣＶ方法，它是根据测量ＣＶ数据用数值模拟反求杂质浓度分布的方法。实验证明此方法切实可行。
一种新的数值CV方法
【摘 要】
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本文分析了以往数值ＣＶ方法不收敛的原因及改进方法，提出了一种新的逐点反求多次循环的数值ＣＶ方法，它是根据测量ＣＶ数据用数值模拟反求杂质浓度分布的方法。实验证明此方法切实可行。
【机 构】
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复旦大学电子工程系,贵州大学物理系,东南大学微电子中心
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1995年1期
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