【摘 要】
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采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100MHz-10GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其
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采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100MHz-10GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130nH,155nH;电阻在6GHz以下也保持平稳,分别为31Ω,51Ω,在这个频率以上,由于高频趋肤效应而有一定的增大;Q值在1-6GHz之间在20以上,并且在6GHz附近分别达到最大值160和110。在100MHz-10GHz范围内,这些电学参量的频谱特性符合实际应用的需要。
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