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用原子力显微镜（AFM）研究了电场诱导氧化理论以及偏置电压和脉冲时间对加工结构尺寸的影响。通过实验得出了偏压、脉冲时间越大，加工尺寸越大的结论。并总结出氧化加工Si较好的参数范围。
AFM在不同参数下实现阳极氧化纳米加工
【摘 要】
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用原子力显微镜（AFM）研究了电场诱导氧化理论以及偏置电压和脉冲时间对加工结构尺寸的影响。通过实验得出了偏压、脉冲时间越大，加工尺寸越大的结论。并总结出氧化加工Si较好的
【机 构】
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贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年10期
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