高纯气体的分析:高纯气体中痕量氢气的测定

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1 前 言在高纯气体制备过程中,氢气以产品、副产品、原料气、还原气等角色出现在诸多工艺环节,对最终产品中残余量的控制,也成为高纯气体产品面临的普遍问题。由于H2组分仅是高纯气体众多控制杂质之一,国内外标准均采用气相色谱法对产品中痕量氢气进行测定,使用的色谱鉴定器有:热传导检测器、氦离子化鉴定器、氩离子化鉴定器、质谱鉴定器、气体密度鉴定器、氧化锆浓差电池鉴定器、氢敏元件鉴定器等。除氧化锆及氢敏鉴定器外,其它均为通用型色谱鉴定器,可以完成10-5~10-8数量级的痕量氢气的测定。以氢敏元件为检测器的专用型痕量
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