Hybrid functional IrO2-TiO2 thin film resistor prepared by atomic layer deposition for thermal inkj

来源 :中国有色金属学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：stonefountain

【摘要】

：

IrO2-TiO2 thin films were prepared by atomic layer deposition using Ir(EtCp)(COD) and titanium isopropoxide (TTIP). The resistivity of IrO2-TiO2 thin films can

【作者】

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Won-Sub KWACK Hyoung-Seok MOON

【机构】

：

NationalCoreResearchCenterforHybridMaterialsSolution,DepartmentofMaterialsScienceandEngineering

【出处】

：

中国有色金属学报：英文版

【发表日期】

：

2011年A01期

【关键词】

：

IrO2 喷墨打印头原子层沉积二氧化钛薄膜电阻制备 TIO2薄膜沉积法 IrO2-TiO2 film heating resistor inkje

【基金项目】

：

supported by a grant from the Fundamental R&D Program for Core Technology of Materials funded by the Ministry of Knowledge Economy, Republic of Korea,,supported by Basic Science Research program t

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IrO2-TiO2 thin films were prepared by atomic layer deposition using Ir(EtCp)(COD) and titanium isopropoxide (TTIP). The resistivity of IrO2-TiO2 thin films can be easily controlled from 1 500 to 356.7 μΩ·cm by the IrO2 intermixing ratio from 0.55 to

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