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将织构组态熵的概念应用于沉积多晶薄膜织构演变的模拟研究，考虑膜沉积过程中晶体表面能各向异性及应变能各向异性的变化，建立了沉积薄膜晶体择优生长的定量模型；模拟了Ａｌ多晶薄膜沉积过程中晶体的生长规律，分析了织构演变的主要微观物理因素。
多晶沉积薄膜生长过程中织构演变的模拟研究
【摘 要】
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将织构组态熵的概念应用于沉积多晶薄膜织构演变的模拟研究，考虑膜沉积过程中晶体表面能各向异性及应变能各向异性的变化，建立了沉积薄膜晶体择优生长的定量模型；模拟了Ａｌ多晶薄膜
【机 构】
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东北大学材料科学与工程系,110006
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金!59672020,,辽宁省科学技术委员会资助
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