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用本征金刚石薄膜制备的电容具有高储能，高击穿电压，耐高温，基本电阻可调节以及良好的化学稳定性等特点.金属与金刚石薄膜形成欧姆接触是电极金属的选取是制备金刚石薄膜电容的重要一步.本文主要研究金刚石薄膜的欧姆接触及其I-V曲线.
金刚石薄膜电容的欧姆接触
【摘 要】
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用本征金刚石薄膜制备的电容具有高储能，高击穿电压，耐高温，基本电阻可调节以及良好的化学稳定性等特点.金属与金刚石薄膜形成欧姆接触是电极金属的选取是制备金刚石薄膜电容的
【机 构】
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天津理工学院光电信息与电子工程系
【出 处】
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天津理工学院学报
【发表日期】
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2001年2期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)，天津市自然科学基金
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