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在扫描电镜(SEM)系统中,为了保护真空系统中的扩散泵,当电镜工作完毕时,循环水冷却器需要继续工作20min以上才能关闭[1].电镜安装工程师虽然明确要求用户必须如此操作,但多年来厂家却没有提供相应的自动化延时关闭装置[1].
JSM—5600LV扫描电镜联动循环水冷却器延时控制系统
【摘 要】
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在扫描电镜(SEM)系统中,为了保护真空系统中的扩散泵,当电镜工作完毕时,循环水冷却器需要继续工作20min以上才能关闭[1].电镜安装工程师虽然明确要求用户必须如此操作,但多年
【机 构】
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河南大学润滑与功能材料重点实验室,河南大学化学化工学院
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2002年5期
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