【摘 要】
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微型化是电子产品发展的趋势。近年来各种微型化技术,如MEMS技术、MID技术、纳米加工技术等备受关注。其中,MEMS技术的出现已经有很多年的历史,但发展并不像人们预期的那么好
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微型化是电子产品发展的趋势。近年来各种微型化技术,如MEMS技术、MID技术、纳米加工技术等备受关注。其中,MEMS技术的出现已经有很多年的历史,但发展并不像人们预期的那么好,松下电工株式会社执行官、控制技术应用研究所所长荒谷
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