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<正>引言随着科学技术的飞速发展,特别是半导体、电子和生物医药等工业的不断发展,现代工业产品和现代科学实验活动越来越要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。而产品的微型化生产,要求有一个"洁净的生产环境"。
洁净机器人自动化装备产业
【摘 要】
：
<正>引言随着科学技术的飞速发展,特别是半导体、电子和生物医药等工业的不断发展,现代工业产品和现代科学实验活动越来越要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。而
【机 构】
：
沈阳新松机器人自动化股份有限公司
【出 处】
：
机器人技术与应用
【发表日期】
：
2010年05期
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