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压电陶瓷致动器在精密定位机构中得到了广泛的应用，但其本身固有的非线性迟滞特性严重影响到机构定位控制的精度。通过实验测试压电陶瓷致动器迟滞曲线，对比分析了线性插值、一元三次插值以及三次样条插值三种插值算法的插值效果。实验表明，电压上升阶段采用一元三次插值算法插值和电压下降阶段采用三次样条插值算法插值可取得较好的插值效果。