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半导体应变片具有比金属式应变片更高的灵敏度,而无严格的讯号处理要求。掺杂硼的硅应变片能呈现出高的温度稳定性。
用于传感器的硅应变片
【摘 要】
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半导体应变片具有比金属式应变片更高的灵敏度,而无严格的讯号处理要求。掺杂硼的硅应变片能呈现出高的温度稳定性。
【出 处】
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仪器仪表通讯
【发表日期】
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1972年02期
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