自动缺陷检查—一种减少缺陷密度,提高成品率的方法

来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lintao31
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文论述了寻代缺陷源的工作,缺陷会导致硅片上的管芯失效。要做这一工作,必须能够在线确定缺陷的类型和密度,以确定缺陷是在工艺中的哪几步产生的。通常有两种方法:一种是用显微镜对产品或测试片进行检查;第二种是使用电测试结构的短流程试验,在作VLSI技术的工程分析时,这两种方法都有明显的局限性。镜检的数据缺乏可重复性,并且,不同操作者的结果有很大降到很低的水平。电测试结构需要一层经光刻和腐蚀的导电薄膜,使
其他文献
进化上高度保守的FoxO转录因子家族对维持细胞稳态起到重要的作用,该家族包括FoxO1、FoxO3、FoxO4和FOXO6。综述了FoxO转录因子在骨骼肌稳态中的关键作用。FoxO1和FoxO3通过
<正> 华东六省一市社会科学院第六次协作会议于1990年11月5日至10日在江苏省苏州市举行。上海、山东、安徽、江西、浙江、福建、江苏等华东六省一市社会科学院的领导同志及各院科研处、办公室、人事处、情报资料研究所、外事处(室)、图书馆和刊物
未来的智能微系统下一个10年将看到在电子工业中会有一场革命,集成电路的功能将超出以往处理和储存数据、控制电学函数等所扮演的角色。智能微系统将不需要外部硬件的介入就可
针对动态场景中使用固定模板进行跟踪容易丢失目标的问题以及利用动态模型估计目标位置时产生的漂移问题,提出一种改进的基于偏最小二乘法的两阶段目标跟踪方法。该方法利用偏最小二乘分析法对在高维特征空间中搜集的正负样本降维,获得特征子空间构建目标表观模型集。跟踪在贝叶斯推理框架下进行:在初始跟踪阶段,利用粒子滤波原理及似然函数估计目标的初步位置;在校正阶段,采用一种适应性的基准模型确定最终的目标位置。对一些
针对电加热炉温度过程控制系统,利用基于dSPACE的电加热炉实时半实物仿真平台,将单神经元自适应PID算法应用于dSPACE温度控制系统中,并完成S函数的M EX C代码格式建模,在M at
采用有机硅和丙烯酸共聚,制备出性能优良的有机硅丙烯酸乳液。研究有机硅单体用量、油水比、软硬单体比、乳化剂等因素对乳液及膜性能的影响。结果表明:当有机硅占单体13%,油